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? ? 對(duì)位平臺(tái)的精度可以去到1個(gè)微米，芯片的印刷就用到這個(gè)精度。往低去了，像是手機(jī)屏幕的貼合，用到的精度也就3個(gè)微米以內(nèi)。

? ? 常用的對(duì)位平臺(tái)有三種，xyθ結(jié)構(gòu)，5M結(jié)構(gòu),UVW結(jié)構(gòu)。它們的結(jié)構(gòu)不一樣，但是核心功能都是對(duì)位，通過(guò)X軸移動(dòng)，Y軸移動(dòng)，θ軸旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)對(duì)位功能。UVW對(duì)位平臺(tái)是日本人發(fā)明的，它由上板，下板和四個(gè)單體組組成。UVW對(duì)應(yīng)的是三個(gè)動(dòng)力軸，X軸方向兩個(gè)馬達(dá)（VW軸），Y軸方向一個(gè)馬達(dá)（U），X軸兩個(gè)馬達(dá)同動(dòng)實(shí)現(xiàn)X軸移動(dòng)，Y軸一個(gè)馬達(dá)控制Y軸移動(dòng)，X軸兩個(gè)不同步的時(shí)候?qū)崿F(xiàn)θ軸轉(zhuǎn)動(dòng)。這樣，通過(guò)控制三個(gè)馬達(dá)實(shí)現(xiàn)了X，Y的的移動(dòng)，θ軸旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)對(duì)位。

? ? 東莞市帝能機(jī)電有限公司專業(yè)銷售GMT全系列產(chǎn)品，包括螺桿支撐座、交叉滾子導(dǎo)軌、手動(dòng)滑臺(tái)、電動(dòng)精密滑臺(tái)、UVW對(duì)位平臺(tái)、中空旋轉(zhuǎn)臺(tái)、微型導(dǎo)軌、KK模組、鎖固螺母、滾珠絲桿、CCD對(duì)位系統(tǒng)及聯(lián)軸器等；供應(yīng)森覺(jué)（SENVIEW）傳感器系列產(chǎn)品。